多晶矽還原爐體及鍾罩幹式清理係統

一（yī）、係統概述
 
多晶矽還原爐體及（jí）鍾罩幹式清理（lǐ）係統適用矽烷法多晶矽生產工藝（yì），用於還原車間反應釜中矽汙染物附著（zhe）力不大（dà）的工況條件下（xià）無汙染幹式清洗。清洗時利用上下移動和旋轉機構帶動高壓氣體噴吹（chuī）以及特（tè）殊旋轉刷組（zǔ）合機構近距離對反應釜表麵進行噴（pēn）吹（chuī）和（hé）接觸式清掃達到清洗的目的。通過清洗旋轉調速機構可（kě）滿足各工況的要求。清（qīng）洗的同時采用特殊（shū）除塵淨化器一次性進（jìn）行除塵淨化。

二、係統特點

1、裝置為移動單元式結構；

2、淨化後（hòu）的（de）空氣可達到10萬級的淨化精度（dù）可完全（quán）在（zài）室內排放；

3、采用全封閉幹式的清洗（xǐ）方式確保對環境不出（chū）現（xiàn）二次汙染；

4、電氣設（shè）計按隔爆的各項要求執行、 設備設有靜電導出裝置（zhì）；

5、控製方式可（kě）為全自動或手動控製；

6、運行總功率小，噪聲低。
 
三、清掃工藝

反應釜吊裝至（zhì）清洗台上→定位（wèi）→連接→啟（qǐ）動淨（jìng）化器→啟動旋（xuán）轉→上下移動機構→高（gāo）壓氣體沿壁噴吹→旋轉刷至上而下接觸移動清掃→淨化氣體置換（huàn）→反應釜吊起→檢查。

四（sì）、設備組（zǔ）成（chéng）

主要（yào）由清洗平台、氣體噴吹裝置（zhì）、吸塵輸送管道、控製閥（fá）門、動力機構、清洗機構、各管道快速接頭、除塵淨化器、電氣控（kòng）製係統等組成。

主要部件采（cǎi）用進口零部件，確保運行可靠穩定、使（shǐ）用周期長。操作維修簡單。