悶聲幹大事!TXVLOG糖心短视频网站潔開啟電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統新紀元!
時(shí)間:2023-03-06 17:05:00作者:LeeZhou來源:TXVLOG糖心短视频网站潔清潔(jié)設備
電子級多晶矽是我國發展集成電路產業的戰略原材料,長(zhǎng)期以來(lái),生產技(jì)術一直由國外壟斷,成為中國發展集成電路產業的瓶頸。隨著國內企業的不斷努力,近年來國內電子級多晶矽迎頭趕上,擺脫國外進口依賴,在質量、產量、出(chū)口等方麵取得(dé)不(bú)錯成績(jì),未來(lái),中國多晶矽(guī)生產在全球市場具有良好的發展前(qián)景(jǐng)。
由於(yú)電子級多晶矽高純度的規格,為達到生產要求,企業不僅在生產工藝、生產設備上不(bú)斷升級,為確保電子級多晶矽質量不受更多外在因素(sù)影響,對生(shēng)產環境也近乎達到苛(kē)刻(kè)的(de)要求,目前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生產多晶(jīng)矽(guī)的核心設備,是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素,任何顆粒性雜質、物料等物質餘留在(zài)爐內(nèi),都會對產品質量造成影響。
在多晶矽生產過程中,多晶矽還原爐(lú)鍾(zhōng)罩內壁會被高溫混合氣體燒黑,表麵沉(chén)積一定厚度的多(duō)晶矽(guī)、無定型矽、高矽氯聚物等雜物,導致還原爐內(nèi)表麵粗糙不平等,影響生產質量、良(liáng)品率低、生(shēng)產成本上升、生產效率下降,所以在還原爐(lú)運行一個周期結束後,必須(xū)對還(hái)原鍾罩內部進行清洗,確(què)保電子級多晶矽在高純環境下生(shēng)產。

TXVLOG糖心短视频网站潔作為一家專業的環保設備供(gòng)應商,早在2009年就研發出多晶(jīng)矽還原爐清洗係統,並(bìng)經過對客戶的實際應用和需求,充分發揮高壓水清洗和吸(xī)除塵的技術(shù)優勢,完成了電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統研發,近年來,TXVLOG糖心短视频网站潔緊跟多晶矽行業生產腳步,技術也(yě)在不斷升級更(gèng)新,一直保持前沿清(qīng)洗技術,為多晶矽廠商提供與電子級多晶矽生產技術(shù)並(bìng)駕齊(qí)驅配套清洗解(jiě)決方(fāng)案,旨為電子(zǐ)級多晶矽的高(gāo)純度生產助(zhù)力。
德(dé)高潔電子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統包括低壓熱(rè)水清洗動力裝(zhuāng)置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統(tǒng)、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等,係統核心部件、元件(jiàn)和附(fù)件原裝進口,在確保係統運行穩(wěn)定可靠前提下(xià),完成對電子(zǐ)級多晶矽還原爐鍾罩的(de)全自動清洗和烘幹操作。
係統以高壓水射流為動力驅動三維洗罐(guàn)器,形成360°的網狀噴(pēn)射表麵,完成鍾罩內部表麵的水力掃射,用氫氧化鈉溶液(yè)等為主要(yào)清洗液,用純水(shuǐ)漂洗,用高純水衝洗完成清洗(xǐ)過(guò)程;隨後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,加熱後(50~80℃)烘幹加熱鍾罩(zhào),再逐步降溫到常溫,通過連續幹燥,完成幹燥過程。

全密閉式清洗烘幹係統,使汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下,按設計出口(kǒu)排(pái)放,基本(běn)消除了(le)對環境境(jìng)汙染及(jí)現場操作人員的安全隱(yǐn)患。係統加多處(chù)安全互鎖功能(樓上、樓下操(cāo)作,缺水(shuǐ)保護,超(chāo)壓保(bǎo)護、漏電保護(hù),水風工作互鎖等),確保安全運行。
TXVLOG糖心短视频网站潔電子級多晶矽鍾罩清洗係統自動化程度高,采用PLC+觸摸屏柔性自動控製係統,能實現對還原爐鍾罩的自動清洗和烘幹,清洗烘幹時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調(diào)整設定,同時具有半自動或手動功能,一次(cì)吊裝在一個工作台上完(wán)成全部清洗、烘幹過程,可實現遠程對樓下設(shè)備的控製和主要參數監控。

除此之外,TXVLOG糖心短视频网站潔電(diàn)子級多晶矽還原爐鍾罩清洗係統可根據客(kè)戶需求,結合廠商使用的不同鍾(zhōng)罩(zhào)、車間廠房(fáng)的(de)情況,能源條件不同,提供個性化(huà)設計。目前,TXVLOG糖心短视频网站潔在多晶矽還原爐清洗行業已擁有國內90%的用(yòng)戶,為多晶矽行業提供了幾十套還原爐清洗係統。
TXVLOG糖心短视频网站潔成立於1994年,在環(huán)保除塵、淨化成套(tào)裝備、工業設備清潔領域已積累了(le)近三十年的業內寶貴經驗,期間自主研發並生產了一係列高壓清洗機(120~2800bar)、自動化清洗係(xì)統、智能清洗爬壁機器(qì)人等,公司擁有20餘人研發團隊(duì),旗下(xià)部署工藝(yì)組(zǔ)、技術組、質檢組,實時管控產品性(xìng)能、質(zhì)量,並通過ISO9001質(zhì)量體係認證。長期服務於國企、軍工、外資、上市公司等500強企業(yè),德(dé)高潔將繼續以客戶需求為基準,用現代技術、標準工藝,竭誠(chéng)為客(kè)戶服務。
由於(yú)電子級多晶矽高純度的規格,為達到生產要求,企業不僅在生產工藝、生產設備上不(bú)斷升級,為確保電子級多晶矽質量不受更多外在因素(sù)影響,對生(shēng)產環境也近乎達到苛(kē)刻(kè)的(de)要求,目前電子級多晶矽生產的主流方式是西門子改良法,還原爐作為改良西門子法生產多晶(jīng)矽(guī)的核心設備,是影響多晶矽生產和產能的關鍵因素,任何顆粒性雜質、物料等物質餘留在(zài)爐內(nèi),都會對產品質量造成影響。
在多晶矽生產過程中,多晶矽還原爐(lú)鍾(zhōng)罩內壁會被高溫混合氣體燒黑,表麵沉(chén)積一定厚度的多(duō)晶矽(guī)、無定型矽、高矽氯聚物等雜物,導致還原爐內(nèi)表麵粗糙不平等,影響生產質量、良(liáng)品率低、生(shēng)產成本上升、生產效率下降,所以在還原爐(lú)運行一個周期結束後,必須(xū)對還(hái)原鍾罩內部進行清洗,確(què)保電子級多晶矽在高純環境下生(shēng)產。

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