TXVLOG糖心短视频网站潔:大型多晶矽還原(yuán)爐鍾罩內部“去人化環(huán)保化(huà)”清洗設備
時間:2023-07-05 14:09:00作者:LeeZhou來(lái)源:TXVLOG糖心短视频网站潔(jié)清潔設備
多晶矽是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料,在多晶矽生產過程(chéng)中(zhōng),還原爐(lú)鍾罩表麵上(shàng)會沉積一定厚(hòu)度的多晶矽副產物、矽粉等,在下一(yī)爐生產時(shí)會影響還原(yuán)爐(lú)鍾罩的反(fǎn)射效率、產品質量,所以多晶矽棒生長完成(chéng)並從還原爐內拆除完之後,需要對還原爐鍾罩內壁進(jìn)行清洗烘幹,保證其內(nèi)部(bù)的幹燥潔(jié)淨。
在國內多晶矽廠家生產(chǎn)初期,還原爐鍾罩清洗的主要方式是人工(gōng)清洗,將還(hái)原爐鍾罩放到固定位(wèi)置後,清(qīng)洗人員(yuán)配好清洗(xǐ)液(yè),穿戴好全套的防護(hù)用品後,用高壓水槍噴(pēn)射到內壁上對附著物依次進行(háng)純水清洗和清洗液清洗,對部分清洗不(bú)幹淨的部位(wèi)用酒精擦拭(shì),再用高溫壓縮空氣進行烘幹。
由於每一個生(shēng)產周期(qī)結束後均需要(yào)對還原爐鍾罩進(jìn)行清洗,為保證多晶矽產品的品質,對還(hái)原爐鍾罩內(nèi)表麵的潔淨要(yào)求十分苛刻,而對(duì)於大型(xíng)還原爐鍾(zhōng)罩來說,采用人工清洗存在清洗不幹淨、清洗的一致性也難以保證、浪費人力的缺陷,且人工配堿(jiǎn)和噴洗不安全,稍有不慎堿液(yè)容易濺到身上造成傷害(hài),如何減少人工參與,實現更安全、環保的清洗方式成為多晶矽(guī)還原爐鍾罩內部清洗的難題(tí)。
TXVLOG糖心短视频网站潔多(duō)晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統,由(yóu)高壓熱(rè)水清洗係統、熱風淨化烘幹係統、控製係(xì)統等組成,係統操作簡單,自動化程度高(gāo),整個清洗工(gōng)藝包含:還(hái)原爐鍾罩到位→預清洗→清洗(xǐ)劑(堿液)清洗→漂洗(xǐ)→高壓純水(shuǐ)衝洗→淨化熱空氣幹燥→常溫幹燥→鍾罩吊走,全程僅需人工輔(fǔ)助作業,解決傳(chuán)統人工清洗存在不安(ān)全,不環保,清洗效果差,自動化程度低,效率不高的缺陷。

係統采用密閉式高壓水射流清洗係(xì)統,清洗時三維清洗噴頭由高壓熱水動(dòng)力裝置射出高壓水流作為驅動動力(lì),對鍾罩(zhào)表麵形成360度網狀噴射表麵(miàn),三維旋轉噴頭自由升(shēng)降,因此可以全麵的對鍾罩進行噴射清(qīng)洗(xǐ),清洗時用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離(lí)子水或叫脫鹽水)漂洗(xǐ),最後用高純水衝洗完成清洗過程,能夠保證清洗的一致(zhì)性和均勻性。
全密閉式清洗烘幹方式使清洗安全可靠,不汙染(rǎn)環境,保護人身健康(kāng)不受危害,清洗後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空氣,梯級加熱,保證烘幹完的鍾罩不再結露,可直接進入生(shēng)產(chǎn)作業,有效提高(gāo)自動化程度和生產效率。
洗滌後的含酸(suān)或堿液廢水、廢渣,排放到(dào)需方(fāng)指定(dìng)處,由需方自行(háng)處理(lǐ),配排汙水(池、槽)溝;清洗和烘幹產生的廢氣做室(shì)外排空排放。係統采用(yòng)PLC+觸摸屏柔性自動控製係統(tǒng),實現對還原爐(lú)鍾罩的自動清洗和烘幹同時具有半自動或手動功能,可以在一套係統實現多種(zhǒng)型號還原爐鍾罩的(de)清洗烘幹。

TXVLOG糖心短视频网站潔是(shì)一家專(zhuān)業清潔環保設備供(gòng)應(yīng)商,在環保除(chú)塵、高(gāo)壓清洗機、淨化成套裝備、工業設備清潔領域已積累了近(jìn)三十年的業內寶貴經驗,公司擁有20餘人(rén)研發團隊,長期服務於國企、軍工、外資、上市公司等500強企業,針對多晶矽還原爐鍾罩的清洗,德(dé)高潔可根據使(shǐ)用方不同還原爐鍾罩(zhào)、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設計(jì),目前,TXVLOG糖心短视频网站潔在多晶矽還(hái)原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶(hù),為多晶矽行業提供了上百套還原爐(lú)清洗係統,並在(zài)北京、上海、深(shēn)圳(zhèn)、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處,服務體係網絡健全,零配件(jiàn)充(chōng)足。
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