電子級多晶矽成就集成電路發展（zhǎn）之路，助力“中國（guó）芯”迎來發展新（xīn）征程
時間：2023-01-12 15:18:00作者：LeeZhou來源：德（dé）高潔清潔設備
集成（chéng）電路俗稱“芯（xīn）片”，是信息發展的基礎內容，也是（shì）我國戰略（luè）發展的支持性產（chǎn）業，是現在所有電子產品(包括汽（qì）車、手機等)的核（hé）心組成部（bù）分（fèn），被廣泛應用到（dào）消費電子、汽車電子（zǐ）、5G網絡、計算機（jī）、數據物聯、雲計算等多個領（lǐng）域，它是軟件產（chǎn）品的重要載體，也是信息產品硬件中重要基礎之一。
電子（zǐ）級多晶矽用於生產半（bàn）導體材料，主要用於電子設備，芯片上用的（de）比較多，作為集成電（diàn）路產業發展中的主（zhǔ）要材料，在電子信息領域有著非常廣泛的應用（yòng），隨（suí）著（zhe）我國集成電路的（de）發展（zhǎn），電子級多晶矽的需求量在不斷的提升（shēng），產品純度也已（yǐ）經達到目前人類（lèi）技術水平的極限，對生（shēng）產製造技術的要求極高（gāo）。相（xiàng）對於（yú）光伏產（chǎn）業所用太陽能級多晶矽99.9999%純度，電子級（jí）多晶矽的純度（dù）要（yào）求高達99.999999999%，相當（dāng）於5000噸的電（diàn）子級多晶矽中總的雜質含（hán）量相當（dāng）於一（yī）枚1元硬幣的重量（liàng）。
但（dàn）在過去相當長一段時間內，全球範圍內能夠生產電子級多晶矽產（chǎn）品的隻是少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日本和美國為首的企業手中（zhōng）。我國經過多年艱辛的努力，跨越多種技術關卡、長時間的試驗，逐漸成為全球首（shǒu）位（wèi）多晶（jīng）矽生（shēng）產（chǎn）地，實現電子級多晶矽“中國造”，集成電路用高純電子級多晶矽國（guó）產（chǎn）化的突破，對我國集成（chéng）電路產業的發展起到了至關（guān）重要的（de）戰略意義，進一（yī）步推動了“中國芯（xīn）”的發（fā）展進程，而在電子級多晶矽（guī）逐漸國產化的趨勢下，電子級（jí）多晶（jīng）矽生產企業需要加（jiā）強對產品品質的（de）保障（zhàng），提升工業效率、優化生產工藝來推（tuī）動集成電路產業的持續發（fā）展。
對純（chún）度要求如此（cǐ）之高（gāo）的電子級多晶矽，其在對生產環境的潔淨度（dù）要（yào）求也極為苛刻，我國多晶矽生（shēng）產工藝中以改良（liáng）西門子法工藝為主要技術形式，在還原爐內進行化學氣相（xiàng）沉積（jī），因此，對還原爐的沉（chén）積環境潔淨度要求特（tè）別關鍵，任何顆粒性雜質、粉塵、油（yóu）脂等物質餘留在爐內，都（dōu）會對產品質量造成影（yǐng）響，還原爐鍾罩汙染物易造成內表麵熱量反射減少，使生（shēng）產能耗增（zēng）加；所以需要在一個運行周期後對還原爐進行清洗。
麵對電子級多晶矽高純度的需求，傳統（tǒng）人工清洗還原爐鍾罩的方式，因效率低、工作強度大、具備一定安全隱患的原因早已成為時代的眼淚，TXVLOG糖心短视频网站潔自主研發（fā）並（bìng）投（tóu）入使用了一款自動化多晶矽還原爐鍾罩清洗係統，並經曆多次不斷升級（jí），已基本滿足不同多晶矽企業對還原爐的清洗需求，且經（jīng）過實際投入使用中證明，經TXVLOG糖心短视频网站（gāo）潔電（diàn）子級多晶矽還（hái）原爐鍾罩清洗係統清洗（xǐ）後，多晶矽還原爐鍾罩表麵呈現“無油、無水、無塵”狀態，多晶矽純度有（yǒu）著明顯的提升。目前TXVLOG糖心短视频网站潔已為全國90%的多晶矽行業提供多（duō）達幾十套自動化多晶矽還原爐清洗係統。
TXVLOG糖心短视频网站潔電子級多晶矽還原爐鍾罩自動化清洗係統包（bāo）括低壓熱水清洗動力裝置（zhì）、三維洗罐器、旋轉和升降執行（háng）機構、清（qīng）洗工作台、萬級淨化幹燥係統、循環過濾係統、控製裝置、微負壓係統、清洗工作台、電氣控製係統等，係統實現了鍾罩的全自動清洗和烘幹操作。
以水（shuǐ）力自驅動三維自動旋轉噴頭，形成360°的（de）網狀噴射表（biǎo）麵，完成鍾罩內（nèi）部表麵的水力掃射（shè），用專用清洗劑等為（wéi）主要（yào）清洗液，用純水(去（qù）離子水或叫脫（tuō）鹽水)漂洗，用高純水衝洗，完成清洗過程。其後用經過三級淨化(10萬級)的純淨空（kōng）氣，梯級加熱（rè），保證烘幹完的鍾罩不再結露，可直接（jiē）進（jìn）入生產作（zuò）業。
采用全（quán）密閉式清（qīng）洗烘幹係（xì）統，使（shǐ）汙染物(廢氣、廢水等)在受控的條（tiáo）件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作人員（yuán）的汙染（rǎn）；係統核心部件（jiàn）、元件及附件均選用TXVLOG糖心短视频网站潔合作多年的歐美廠商，確保係統設備的（de）可靠性；可根據使用方不同還原（yuán）爐鍾罩（zhào）、車間廠房的情況，能源（yuán）條件不同，提（tí）供個性化設計，以（yǐ）滿足不（bú）同多晶矽生產企業的（de）清洗需求，是一套安全、高效、環保（bǎo）、自動化（huà）程度高的電子級多晶矽還原爐鍾（zhōng）罩清洗解決方案。
電（diàn）子級多晶矽是電子工業生產中（zhōng）的重要（yào）內容（róng），企業要想持續、穩定的生（shēng）產高純電子級多晶矽，滿足下遊企業對電子級（jí）多晶（jīng）矽材（cái）料的質量需求，需要從多晶矽生產全流程各個工序（xù）嚴格（gé）控製，將各種可能造成（chéng）多晶矽質量問題因素降到最小值，這其中避免不（bú）了對還原爐鍾罩的清洗，並在操作過程中進一步做到精益操作和精細化操作（zuò），改變不良習慣，提升管理水平，才有可能（néng）在電子級（jí）多晶矽市場上占有一席之地。
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但（dàn）在過去相當長一段時間內，全球範圍內能夠生產電子級多晶矽產（chǎn）品的隻是少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日本和美國為首的企業手中（zhōng）。我國經過多年艱辛的努力，跨越多種技術關卡、長時間的試驗，逐漸成為全球首（shǒu）位（wèi）多晶（jīng）矽生（shēng）產（chǎn）地，實現電子級多晶矽“中國造”，集成電路用高純電子級多晶矽國（guó）產（chǎn）化的突破，對我國集成（chéng）電路產業的發展起到了至關（guān）重要的（de）戰略意義，進一（yī）步推動了“中國芯（xīn）”的發（fā）展進程，而在電子級多晶矽（guī）逐漸國產化的趨勢下，電子級（jí）多晶（jīng）矽生產企業需要加（jiā）強對產品品質的（de）保障（zhàng），提升工業效率、優化生產工藝來推（tuī）動集成電路產業的持續發（fā）展。
對純（chún）度要求如此（cǐ）之高（gāo）的電子級多晶矽，其在對生產環境的潔淨度（dù）要（yào）求也極為苛刻，我國多晶矽生（shēng）產工藝中以改良（liáng）西門子法工藝為主要技術形式，在還原爐內進行化學氣相（xiàng）沉積（jī），因此，對還原爐的沉（chén）積環境潔淨度要求特（tè）別關鍵，任何顆粒性雜質、粉塵、油（yóu）脂等物質餘留在爐內，都（dōu）會對產品質量造成影（yǐng）響，還原爐鍾罩汙染物易造成內表麵熱量反射減少，使生（shēng）產能耗增（zēng）加；所以需要在一個運行周期後對還原爐進行清洗。
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